| 发明名称 |
HERSTELLUNGSÜBERWACHUNG UND ANALYSE MITTELS STATISTISCHER SIMULATION MIT EINZELSCHRITT-FEEDBACK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69622427(D1) |
申请公布日期 |
2002.08.22 |
| 申请号 |
DE1996622427 |
申请日期 |
1996.09.27 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
CHEN, CHUN |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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