| 发明名称 |
System and method for high resolution optical imaging, data storage, lithography, and inspection |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2002114567(A1) |
申请公布日期 |
2002.08.22 |
| 申请号 |
US20020068449 |
申请日期 |
2002.02.07 |
| 申请人 |
NOVOTNY LUKAS;BROWN THOMAS G. |
发明人 |
NOVOTNY LUKAS;BROWN THOMAS G. |
| 分类号 |
G01Q60/18;G03F7/20;(IPC1-7):G02B6/32;G02B6/26;G02B3/00 |
主分类号 |
G01Q60/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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