Gestapelte Halbleiterbauelementestruktur

摘要

Eine gestapelte Halbleiterbauelementestruktur enthält eine Mehrzahl von Halbleitermodulen, von denen jedes ein Substrat und wenigstens ein auf dem Substrat angebrachtes Halbleiterbauelement enthält; eine Stapelvorrichtung zum Aufstapeln der Halbleitermodule aufeinander; und eine Oberflächenanbringungsvorrichtung zum Flächenmontieren der durch die Stapelvorrichtung aufeinander gestapelten Halbleitermodule auf einem weiteren Substrat für eine Systemvorrichtung.