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发明名称 Rastereletronenmikroskop und Bilderzeugungsverfahren mittels solchen Mikroskop
摘要
申请公布号 DE69430976(D1) 申请公布日期 2002.08.22
申请号 DE19946030976 申请日期 1994.10.27
申请人 HITACHI, LTD.;HITACHI SCIENCE SYSTEMS LTD., KATSUTA 发明人 KAWAMATA, SHIGERU;OZASA, SUSUMU
分类号 H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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