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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES VERTIKALEN MOS-TRANSISTORS
摘要
申请公布号 DE59804805(D1) 申请公布日期 2002.08.22
申请号 DE19985004805 申请日期 1998.03.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;RUHR-UNIVERSITAET BOCHUM 发明人 AEUGLE, THOMAS;ROESNER, WOLFGANG;BEHAMMER, DAG
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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