发明名称 Anordnung zur Durchführung von Lebensdauerversuchen an nicht passivierten Bauelementen
摘要
申请公布号 DE20022982(U1) 申请公布日期 2002.08.22
申请号 DE20002022982U 申请日期 2000.09.01
申请人 LEIBNIZ-INSTITUT FUER FESTKOERPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V. 发明人
分类号 G01R31/28;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/26;H01L21/768 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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