Method for forming feram capable of preventing hydrogen diffusion using oxygen plasma
摘要
<p>본 발명은 금속배선간 절연막 및 페시베이션막 형성시 수소확산에 의한 강유전체 특성 저하를 효과적으로 방지할 수 있는 강유전체 메모리 소자 제조 방법에 관한 것으로, 층간절연막, 금속배선간 절연막 및 페시베이션막 형성 공정 전에 산소 플라즈마를 이용한 사전 처리를 실시하여 수소에 의한 손상을 방지하는데 그 특징이 있다.</p>
