| 发明名称 |
Verfahren zur Dampfabscheidung eines Halbleiterkristalls |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69132911(T2) |
申请公布日期 |
2002.08.22 |
| 申请号 |
DE19916032911T |
申请日期 |
1991.10.24 |
| 申请人 |
NICHIA KAGAKU KOGYO K.K., ANAN |
发明人 |
NAKAMURA, SHUJI |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B25/14;(IPC1-7):H01L21/205;C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
