发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterschaltungsanordnung
摘要 Zur Vereinfachung eines Verfahrens zum Herstellen einer Speichereinrichtung (1) mit einer Mehrzahl von MRAM-Zellen (30) in einem Kreuzungsbereich (40) von Leitungselementen (10, 20) wird vorgeschlagen, dass das Strukturieren der Speicherelemente (30) jeweils gleichzeitig mit dem Strukturieren der ersten und zweiten Leitungselemente (10, 20) durchgeführt wird.
申请公布号 DE10104265(A1) 申请公布日期 2002.08.22
申请号 DE20011004265 申请日期 2001.01.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHLOESSER, TILL
分类号 H01L21/8246;H01L27/22;(IPC1-7):H01L27/22;H01L21/768;H01L21/823;G11C11/15;G11C11/16 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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