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Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung einer Probe
摘要
申请公布号
DE4340956(C2)
申请公布日期
2002.08.22
申请号
DE19934340956
申请日期
1993.12.01
申请人
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO
发明人
FROSIEN, JUERGEN;WINKLER, DIETER;ZIMMERMANN, HANS
分类号
H01L21/66;C23C16/04;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/768;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/32;H05H1/46
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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