| 发明名称 |
SEMIICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
PURPOSE:To manufacture thin silicon film of optional size economically. |
| 申请公布号 |
JPS51123589(A) |
申请公布日期 |
1976.10.28 |
| 申请号 |
JP19750048156 |
申请日期 |
1975.04.22 |
| 申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN *JAPAN* |
发明人 |
ITOU HARUO;SAITOU TADASHI;MINAGAWA SHIGEKAZU;KETSUSAKO MITSUNORI;KURODA EIKEI |
| 分类号 |
H01L31/04;H01L21/208 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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