| 发明名称 |
A SPUTTERING APPARATUS |
| 摘要 |
PURPOSE:A sputtering apparatus provided with a base plate holder capable of easily removing the soils deposited during sputtering. |
| 申请公布号 |
JPS51123782(A) |
申请公布日期 |
1976.10.28 |
| 申请号 |
JP19750048665 |
申请日期 |
1975.04.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WATANABE TOMIKATSU;OOTAKE MITSURU;ITOU FUMIHIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/50;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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