| 摘要 |
<p>L'invention concerne un appareil à plasma comprenant un récipient (11) pourvu d'une ouverture, un élément diélectrique (13) appuyé sur une surface d'extrémité périphérique de l'ouverture du récipient (11) et fermant l'ouverture, des organes d'alimentation de champ électromagnétique servant à générer un champ électromagnétique à l'intérieur du récipient (11) via l'élément diélectrique (13), et un élément (12) de protection destiné à recouvrir la partie périphérique de l'élément diélectrique (13) et à protéger le champ électromagnétique. La distance L1 de la surface intérieure du récipient (11) à la surface d'extrémité du récipient (11) jusqu'à la surface intérieure de l'élément (12) de protection est d'approximativement N/2 (N est un entier supérieur ou égal à zéro) de la longueur d'onde du champ électromagnétique dans une région (18) entourée par la surface d'extrémité du récipient (11), les organes d'alimentation du champ magnétique, et l'élément (12) de protection.</p> |
