| 主权项 |
1.一种稀释剂组成物,其系用来清除半导体元件制造工程中所用晶片上不必要的感光膜,该组成物包括:a)40-80%重量百分比之丙二醇单烷基醚,其系选自丙二醇甲基醚、丙二醇乙基醚、丙二醇丙基醚及丙二醇丁基醚所组成的族群中;b)10-30%重量百分比之单氧基碳酸酯,其系选自3-甲氧丙酸甲基、3-乙氧丙酸乙酯、3-甲氧丙酸乙酯、3-乙氧丙酸甲酯、2-甲氧乙酸甲酯、2-乙氧乙酸乙酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸乙酯及-甲氧基异丁酸甲酯所组成的族群中;c)1-20%重量百分比之乙酸烷酯,其系选自乙酸甲酯及乙酸丁酯所组成的族群中;及d)1-20%重量百分比之乳酸烷酯,其系选自乳酸甲酯、乳酸乙酯及乳酸丁酯所组成的族群中。图式简单说明:图1是表示涂覆液被旋转涂覆后基材之平面图;图2是对图1中周边部之边缘部位(点线内)放大之SEM照片,是涂覆之基材被洗涤乾净后之SEM照片;图3是对图1中周边部之边缘部位(点线内)放大之SEM照片,是在洗涤清除涂覆基材时,可能出现之感光膜腐蚀现象之SEM照片;图4是对图1中周边部之边缘部位(点线内)放大之SEM照片,是在洗涤清除涂覆基材时,可能出现之感光膜衰减尾部现象之SEM照片;图5是表示在涂覆有感光膜之基材上,多种反射效果之侧截面图;上述图5中,1是照射光;2是基材;3是基材断差;4是感光膜。图6是表示随着感光膜厚度的变化,图案尺寸发生的变化;图7是把图表8中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图8是把图表8中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图9是把图表8中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图10是把图表8中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图11是把图表8中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图12是把图表8中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图13是把图表8中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图14是把图表8中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图15是把图表8中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图16是把图表8中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图17是把图表8中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图18是把图表8中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图19是把图表8中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图20是把图表8中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图21是把图表8中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图22是把图表8中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图23是把图表12中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图24是把图表12中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图25是把图表12中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行RBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图26是把图表12中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图27是把图表12中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图28是把图表12中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图29是把图表12中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图30是把图表12中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图31是把图表12中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图32是把图表12中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图33是把图表12中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图34是把图表12中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图35是把图表12中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图36是把图表12中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图37是把图表12中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图38是把图表12中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图39是把图表13中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图40是把图表13中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图41是把图表13中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图42是把图表13中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂A进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图43是把图表13中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图44是把图表13中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图45是把图表13中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图46是把图表13中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂B进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图47是把图表13中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图48是把图表13中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图49是把图表13中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图50是把图表13中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂C进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图51是把图表13中表示之第1实施例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图52是把图表13中表示之第2实施例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图53是把图表13中表示之第1比较例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图54是把图表13中表示之第2比较例之稀释剂组成物与感光性树脂D进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图55是把图表15中表示之第1实施例之稀释剂组成物与SOG溶液进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图56是把图表15中表示之第2实施例之稀释剂组成物与SOG溶液进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图57是把图表15中表示之第3实施例之稀释剂组成物与SOG溶液进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图58是把图表15中表示之第4实施例之稀释剂组成物与SOG溶液进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图59是把图表15中表示之第1比较例之稀释剂组成物与SOG溶液进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;图60是把图表15中表示之第2比较例之稀释剂组成物与SOG溶液进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片;及图61是把图表15中表示之第3比较例之稀释剂组成物与SOG溶液进行EBR试验后,对边缘部位观察之SEM照片。 |
