可为正型光阻剂的聚合物

摘要

在与适当光酸生成剂(PAG)一起使用时会形成正性光阻剂的聚合物。此聚合物包含酒石系多元酐骨架，经缩醛保护的1,2-二醇基团；及悬垂于骨架的稠合环缩醛基团。此经缩醛保护α-羟基酐骨架结构驱使有效光酸催化的裂解作用，此形成易溶解于水性显影剂中的小分子量裂片。此溶解度的高对比性使得操作者得以制造出高解析影像。稠合环提供耐蚀性且可由金刚酮或原樟脑环结构构成。添加市售光酸生成剂，此聚合物调配物形成能够提供高对比和解析的正性光阻剂。

主权项

1.一种可为正型光阻剂的聚合物,包含: a)聚酒石酸酐骨架; b)经缩醛保护的1,2-二醇基团;及 c)悬垂于骨架的稠合环缩醛基团。2.根据申请专利 范围第1项之聚合物,其中,悬垂缩醛基团是金刚酮 基团。3.根据申请专利范围第2项之聚合物,其中, 悬垂缩醛基团是原樟脑基团。4.根据申请专利范 围第1项之聚合物,其包含结构:5.根据申请专利范 围第4项之聚合物,其中,其另包括光酸生成剂以形 成光阻剂。6.根据申请专利范围第1项之聚合物,其 包含结构:7.根据申请专利范围第6项之聚合物,其 中,其另包括光酸生成剂以形成光阻剂。