感放射线性树脂组成物

摘要

课题：本发明提供一种感放射线性树脂组成物，可形成良好图型，特别是对基板具有高度密接性，而且即使经后烤后，利用剥离液仍可容易溶解除去。构成：二叠氮基酚醛树脂型之正型感放射线性树脂组成物，和化学增幅型之负型感放射线性树脂组成物等，含硷溶性树脂之感放射线性树脂组成物中的硷溶性树脂，可用如下通式(I)所示化合物，以及必要时之酚类，利用醛化合物聚缩合而得之硷溶性树脂。式中R代表羟基或C1-C4烷基，n为0或1～3之整数， n为2或3时，各R可相同或不同。

主权项

1.一种感放射线性树脂组成物,含有硷溶性树脂,其 特征为,该硷溶性树脂系为含有苯胺为单体的一成 份之硷溶性树脂。2.如申请专利范围第1项之感放 射线性树脂组成物,其中硷溶性树脂系苯胺和酚类 利用甲醛水等醛类聚缩合而得者。3.如申请专利 范围第1项之感放射线性树脂组成物,其中苯胺的 比率在全硷溶性树脂中为0.1-40重量%。