| 主权项 |
1.一种照明装置,系含有: -光源(1); -光学波导; -耦入式光学系统(3),系用于使光源的光耦合于该 光学波导的第一端点内; -耦出式光学系统(5),系用于使从该光学波导的第 二端点出现的光耦合出来;以及 -照明用光学系统(17;20),系用于接收从该耦出式光 学系统(5)出现的光并用来照射该影像场域; 其特征为: a)将光纤束(4)配置成光学波导;且其中 b)在耦出式光学系统(5)与照明用光学系统(17;20)之 间配置有均匀化光学系统(6)以便使从光纤束(4)出 现之光的影像场域内不均匀的强度分布均匀化。2 .如申请专利范围第1项之照明装置,其中该均匀化 光学系统(6)系包括:微型蜂巢式聚光器(7);以及透 镜构件(8),系用来使光纤束(4)的出射开口(9)重叠于 中间影像平面(10)内以形成均匀的中间影像。3.如 申请专利范围第1项之照明装置,其中该光源(1)的 光系经由具有最大可能数値入口孔径的放大用耦 入式光学系统(3)而挑选出并使之耦合于该光纤束( 4)之内。4.一种座标测量仪器,系含有: -X-Y测量平台(26),系用于收纳具有待测器件(31)之基 板; -照明系统,具有光源(1)光纤束(4)、耦入式光学系 统、耦出式光学系统、用来照射影像场域的照明 用光学系统(17;20);以及 -侦测器装置(14),系含有用来定出该器件位置; 其特征为: a)将光纤束(4)系配置成光学波导;且其中 b)在耦出式光学系统(5)与照明用光学系统(17;20)之 间配置有均匀化光学系统(6)以便使从光纤束(4)出 现之光的影像场域内不均匀的强度分布均匀化。5 .如申请专利范围第4项之座标测量仪器,其中该均 匀化光学系统(6)系包括:微型蜂巢式聚光器(7);以 及透镜构件(8),系用来使光纤束(4)的出射开口(9)重 叠于中间影像平面(10)内以形成均匀的中间影像。 6.如申请专利范围第4项之座标测量仪器,其中该光 源(1)的光系经由具有最大可能数値入口孔径的放 大用耦入式光学系统(3)而挑选出并使之耦合于该 光纤束(4)之内。图式简单说明: 第1图显示的是一种用于透射光照明系统之照明装 置的光学图。 第2图显示的是第1图中「X」部位的细部放大图,亦 即穿过蜂巢式聚光器的截面图示。 第3图显示的是一种用于入射光照明系统之照明装 置的光学图。 第4图显示的是一种含有由包括根据本发明之透射 光照明装置之入射光及透射光照明系统构成之组 合的座标测量仪器。 第5图显示的是对不同的遮罩厚度而言在第4图之 透射光照明装置之前及之后的射束路径示意图。 |
