发明名称 分离捕捉装置
摘要 一种分离捕捉装置,其系包括排放路径,用以藉由真空泵而抽空一密闭式密封腔室;密闭式密封之捕捉容器,其系延伸通过该排放路径以及配置在该排放路径旁边之再生路径;捕捉器,其系配置在该捕捉容器中,用以使排放气体中之反应产物附着于其上,并且将该反应产物由排放气体中移除,该捕捉器系可以选择地定位在该排放路径或该再生路径;阀体元件,其系配置在该捕捉器之两侧,且系可以与该捕捉器一体式地移动;以及密封材料,其系安装在该阀体元件之外周面上,以在该捕捉器移动时滑动通过该捕捉容器之内周面。
申请公布号 TW499546 申请公布日期 2002.08.21
申请号 TW089115470 申请日期 2000.08.02
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 野村典彦
分类号 F04B37/16;H01L21/02 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人 洪武雄 台北巿城中区武昌街一段六十四号八楼;陈昭诚 台北巿武昌街一段六十四号八楼
主权项 1.一种分离捕捉装置,包括: 排放路径,用以藉由真空泵而抽空一密闭式密封腔 室; 密闭式密封之捕捉容器,其系延伸通过该排放路径 以及配置在该排放路径旁边之再生路径; 捕捉器,其系配置在该捕捉容器中,用以使排放气 体中之反应产物附着于其上,并且将该反应产物由 排放气体中移除,该捕捉器系可以选择地定位在该 排放路径或该再生路径; 阀体元件,其系配置在该捕捉器之两侧,且系可以 与该捕捉器一体式地移动;以及 密封材料,其系安装在该阀体元件之外周面上,以 在该捕捉器移动时滑动通过该捕捉容器之内周面 。2.如申请专利范围第1项之分离捕捉装置,其中至 少两个捕捉器系配置在该捕捉容器中,以同时在该 排放路径上进行捕捉操作,以及在该再生路径上进 行再生操作。3.如申请专利范围第1项之分离捕捉 装置,其中该密封材料系安装在该阀体元件之外周 面上,而可以朝向该捕捉容器之内周面而扩张。4. 如申请专利范围第3项之分离捕捉装置,其中该密 封材料系仅有当该密封材料径向扩张时,其才会与 该捕捉容器之内周面相接触。5.如申请专利范围 第3项之分离捕捉装置,其中该阀体元件系包含藉 由向外挤压该密封材料而使该密封材料径向扩张 之装置。6.如申请专利范围第5项之分离捕捉装置, 其中该用以径向扩张该密封材料之装置系可相对 地移动一对互相面对之构件,或者一对具有斜面之 构件使之彼此远离或彼此靠近者,其中该斜面系互 相面对,且具有朝外展开之V形横截面形状。7.一种 分离捕捉装置,包括: 排放路径,用以藉由真空泵而抽空一密闭式密封腔 室; 密闭式密封之捕捉容器,其系具有入口以及出口, 并且构成该排放路径之一部分; 捕捉器,其系配置在该捕捉容器中,用以使排放气 体中之反应产物附着于其上,以及将该反应产物由 该排放气体中移除;以及 节流部分,其系配置在该捕捉容器之吸入口,用以 调节在该吸入口中之排放气体的流动,使得该排放 气体流向该捕捉器的内部。8.如申请专利范围第7 项之分离捕捉装置,其中该捕捉器包含具有弯曲的 捕捉表面之折流板。9.如申请专利范围第8项之分 离捕捉装置,其中该捕捉表面系呈弧形之形状,该 弧之中心轴系横越过该排放路径。10.一种分离捕 捉装置,包括: 排放路径,用以藉由真空泵而抽空一密闭式密封腔 室; 密闭式密封之捕捉容器,其系具有入口以及出口, 并且构成该排放路径之一部分; 捕捉器,其系配置在该捕捉容器中,用以使排放气 体中之反应产物附着于其上,以及将该反应产物由 该排放气体中移除;以及 抑制部分,其系配置在该捕捉容器之排放口,用以 抑制在该排放口中之排放气体之流动。11.如申请 专利范围第10项之分离捕捉装置,其中该捕捉器包 含具有弯曲的捕捉表面之折流板。12.如申请专利 范围第11项之分离捕捉装置,其中该捕捉表面系呈 弧形之形状,该弧之中心轴系横越过该排放路径。 图式简单说明: 第1图系一系统示意图,其中显示具有本发明第一 实施例之分离捕捉装置之抽真空系统; 第2A图系第1图所示之分离捕捉装置的截面侧视图; 第2B图系第2A图所示之分离捕捉装置之部分放大截 面视图; 第3图系第1图所示之分离捕捉装置之截面前视图; 第4图系依照本发明第二实施例之分离捕捉装置的 截面前视图; 第5图系依照本发明第三实施例之分离捕捉装置之 截面前视图; 第6图系一系统示意图,其中显示具有依照本发明 第四实施例之分离捕捉装置的抽真空系统; 第7图系一系统示意图,其中显示具有依照本发明 第五实施例之分离捕捉装置的抽真空系统; 第8图系显示第7图所示之分离捕捉装置之主要部 分的截面视图; 第9图系通过第8图之剖面线A-A之截面视图; 第10A图系一截面视图,其中显示当一阀体元件处在 移动状态时,用以将配置在第8图所示之分离捕捉 装置中之密封材料加以径向扩张之装置; 第10B图系一截面视图,其中显示当一阀体元件处在 停止状态(密封状态)时,用以将配嚣在第8图所示之 分离捕捉装置中之密封材料加以径向扩张之装置; 第11图系一截面视图,其中显示本发明用以径向扩 张一密封材料之第二装置的主要部分; 第12A图系一截面视图,其中显示本发明用以径向扩 张一密封材料之第三装置的主要部分; 第12B图系通过第12A图之剖面线B-B所取之截面视图; 第13A图系一截面视图,其中显示当阀体元件系处在 移动状态时,本发明用以径向扩张一密封材料之第 四装置的主要部分; 第13B图系一截面视图,其中显示当阀体元件系处在 停止状态(密封状态)时,本发明用以径向扩张一密 封材料之第四装置的主要部分; 第14A图系一截面视图,其中显示当阀体元件系处在 移动状态时,本发明用以径向扩张一密封材料之第 五装置的主要部分; 第14B图系一截面视图,其中显示当阀体元件系处在 停止状态(密封状态)时,本发明用以径向扩张一密 封材料之第五装置的主要部分; 第15图系一图表,其中显示在第1图至第3图所示之 抽真空系统中之捕捉效率及传导速率的测量结果; 以及 第16图系一系统示意图,其中显示一习知之抽真空 系统。
地址 日本