| 发明名称 | 陶瓷的制造方法及其制造设备以及半导体器件和压电元件 | ||
| 摘要 | 本发明的陶瓷的制造方法包括:将至少形成陶瓷原材料一部分的原料材料微粒子和活性材料进行混合以后供给基体(10),并在基体(10)上面形成陶瓷膜(20)的工序。制造设备具有:兼任基体(10)的加热部分的配置部分(40)、用于在微粒子的状态供给原料材料的原料材料供给部分(200)、用于供给活性材料的活性材料供给部分(100)、以及用于混合原料材料和活性材料的混合部分(300)。 | ||
| 申请公布号 | CN1365399A | 申请公布日期 | 2002.08.21 |
| 申请号 | CN01800693.0 | 申请日期 | 2001.03.29 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 名取荣治 |
| 分类号 | C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;H01L27/10;H01L41/22 | 主分类号 | C23C16/40 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 王岳;叶恺东 |
| 主权项 | 1、一种陶瓷的制造方法，包括：在混合至少形成陶瓷的原材料一部分的原料材料的微粒子和活性材料以后供给基体，并在该基体上面形成强电介质膜的工序。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||