一种真空密封谐振腔调节镜座

摘要

本实用新型属于激光技术领域中的一种真空密封谐振腔调节镜座。要解决的技术问题是保证真空室的真空度不下降,保证达到调整精度,简化加工工艺,技术方案是采用固定座的凹槽环与谐振腔镜座凸沿环配合加“O”型密封胶圈以及通过三点相间分布的带压缩弹簧的调节螺钉和调节顶针的调节机构。本实用新型是由谐振腔镜座、固定座、调节螺钉、调节顶针、密封胶圈、真空室等构件组成的圆形谐振腔镜座调节机构,使谐振腔镜座处于稳定悬浮状态,谐振腔镜间的平行程度的调节达到要求,保证激光在谐振腔中产生振荡,完成激光输出。

主权项

1、一种真空密封谐振腔调节镜座，是由谐振腔镜、谐振腔镜座、固定座、真空室组成的，其特征在于本实用新型包括调节螺钉7、调节弹簧8、谐振腔镜9、调节顶针10、调振腔镜座11、固定座12、密封胶圈13、真空室14、谐振腔镜座凸沿槽15、调节螺钉孔16、调节顶针孔17组成的，谐振腔镜9放在谐振腔镜座11中心的凹台肩上，与凹台肩密封配合，谐振腔镜座11和固定座12是两个同心直径相同的圆形体，谐振腔镜座11的凸沿环伸入到固定座12的凹槽环内，两者间保持很小的间隙，在谐振腔镜座11的凸沿环上设有凸沿槽15，在凸沿槽15内镶嵌密封胶圈13，密封胶圈13的外沿与固定座12的凹槽环内圆密封配合，在谐振腔镜座11和固定座12的等长的圆周半径上，分别以120°间隙均布着调节螺钉孔16和调节顶针孔17，两者是相间分布的，调节顶针孔17落在两个调节螺钉孔16与圆心连线的角度平分线上，也就是调节螺钉孔16和调节顶针孔17与圆心连线的夹角为60°，谐振腔镜座11上的调节螺钉孔16为光滑孔，固定座12上的调节螺钉孔16为螺纹孔，谐振腔镜座11上的调节顶针孔17为螺纹孔，固定座12上的调节顶针孔17为一个平底盲孔，谐振腔镜座11和固定座12之间用调节螺钉7连接，调节螺钉7与谐振腔镜座11的调节螺钉孔16之间为间隙配合，与固定座12的调节螺钉孔16之间螺纹配合，调节顶针10与谐振腔镜座11上的调节顶针孔17之间是螺纹配合，与固定座12上的调节顶针孔17之间是顶尖与盲孔底面接触配合，调节螺钉7靠近帽的一端套上调节弹簧8，调节弹簧8的另一端与谐振腔镜座11接触。