| 摘要 |
<p>본 발명은 순산화물계 절연성 세라믹 재료에 전이금속 산화물계 도전성 세라믹 재료가 첨가된 혼합재료를 이용하여 만들어진 정전기가 방지되는 캐필러리 또는 웨지에 관한 것으로, 여기에서 순산화물계 절연성 세라믹 재료는 알루미나(AlO), 지르코니아(ZrO), 마그네시아(MgO) 또는 이들의 조합으로 이루어져 전체 조성의 50 내지 70％를 차지하고, 전이금속 산화물계 도전성 세라믹 재료는 산화철(FeO), 산화코발트(CoO), 산화티타늄(TiO), 산화니켈(NiO) 또는 이들의 조합으로 이루어져 전체 조성의 30 내지 50％를 차지한다. 이러한 순산화물계 절연성 세라믹 재료와 전이금속 산화물계 도전성 세라믹 재료의 혼합재료는 캐필러리 또는 웨지에 요구되는 고강도, 내마모성, 고온 안정성 및 절연특성을 유지하면서도 정전기를 방지함으로서 캐필러리 또는 웨지를 이용한 와이어 본딩 공정시 하부의 회로칩이 단락되는 문제점을 막을 수 있다.</p> |
