发明名称 | 部件及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种部件及其制造方法,该部件的基片(1)有基本上由铜构成的层(2)。金属丝(3)通过压焊和形成金属间化合物与铜层(2)连接,而且在基本上由铜构成的层(2)上涂敷的硬层(5)在连接区裂开。该硬层至少在80℃的温度下是稳定的,在此温度下起氧扩散阻挡层的作用,其作用接近标准环境下在铝上形成的氧化铝层。 | ||
申请公布号 | CN1365517A | 申请公布日期 | 2002.08.21 |
申请号 | CN00809564.7 | 申请日期 | 2000.06.22 |
申请人 | 尤纳克西斯巴尔策斯公司 | 发明人 | J·拉姆 |
分类号 | H01L21/60;H01L23/485 | 主分类号 | H01L21/60 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 卢新华;姜建成 |
主权项 | 1.一种包括基本上由铜构成的零件以及第二金属零件的电子部件,两部件之间通过形成金属间化合物连接,其特征在于,在基本由铜构成的零件的连接的周围区存在一硬层,该层在至少80℃的温度下是稳定的,并在该温度下形成氧-扩散阻挡层,如果不优于也至少接近在标准环境下在铝上形成的氧化铝层。 | ||
地址 | 列支敦士登菲尔斯滕图姆 |