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发明名称 Laser machining of semiconductor material
摘要
申请公布号 IES20010945(A2) 申请公布日期 2002.08.21
申请号 IES20010945 申请日期 2001.10.26
申请人 XSIL TECHNOLOGY LIMITED 发明人 ADRIAN BOYLE
分类号 B23K26/06;B23K26/36;H01L21/78;(IPC1-7):B23K26/36 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
主权项
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