发明名称 Method of making an isolation layer serving as intermetal dielectric
摘要
申请公布号 EP0823730(B1) 申请公布日期 2002.08.21
申请号 EP19970110594 申请日期 1997.06.27
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 GABRIC, ZVONIMIR;SPINDLER, OSWALD, DR.;GRASSL, THOMAS
分类号 H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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