发明名称 Laser machining of semiconductor materials
摘要
申请公布号 IE20010944(A1) 申请公布日期 2002.08.21
申请号 IE20010000944 申请日期 2001.10.26
申请人 XSIL TECHNOLOGY LIMITED 发明人 ADRIAN BOYLE
分类号 B23K26/06;B23K26/36;H01L21/78;(IPC1-7):B23K26/36 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
主权项
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