微轮廓测量仪

摘要

本实用新型公开了一种微轮廓测量仪,它包括系统工作台和立柱,它还包括设置在系统工作台上的宏动工作平台,立柱上设置有步进电机和激光感测头,宏动工作平台与精密工作台相连。本实用新型不仅可测量工件的表面粗糙度,平面度,直线度,还可测量表面微沟槽的深度,以及微台阶高度值等,且人机对话界面丰富直观,数据,图形图像处理快捷,方便,采用非接触式光学三角量测原理,适用于不透明或半透明材质,而与表面质量无关。

主权项

1、一种微轮廓测量仪，它包括系统工作台[1]、立柱[2]、步进电机[3]、控制系统[4]、宏动工作平台[8]；在系统工作台[1]上的一侧设置有立柱[2]，宏动工作平台[8]通过联接底板[11]与系统工作台[1]相连，其特征在于：它还包括有设置在立柱[2]上能使步进电机[3]在Z轴上下运动的导轨[12]，Z轴步进电机[3]镶嵌在导轨[12]内，Z轴步进电机[3]设置有激光感测头[5]并与控制系统[4]相联通，宏动工作平台[8]通过滚珠丝杆[15]与X轴步进电机[13]相联，宏动工作平台[8]还通过滚珠丝杆[16]与Y轴步进电机[14]相联，宏动工作平台[8]还通过联接底板[10]与精密工作台[7]相连，控制系统[4]与精密工作台[7]相联通。