发明名称
摘要
申请公布号 JP3315871(B2) 申请公布日期 2002.08.19
申请号 JP19960233169 申请日期 1996.09.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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