发明名称 TRANSPORTEINRICHTUNG FÜR FLACHE GEGENSTÄNDE UND VERFAHREN ZUM TRANSFERIEREN DIESER GEGENSTÄNDE ZWISCHEN DIESER EINRICHTUNG UND EINEM BEHANDLUNGSAPPARAT
摘要
申请公布号 DE69713879(D1) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 DE19976013879 申请日期 1997.04.02
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS 发明人 DOCHE, CLAUDE
分类号 B65D85/57;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65D85/57
代理机构 代理人
主权项
地址