用气柜稳定变压吸附真空泵出口压力的方法

摘要

本发明公开了一种用气柜稳定变压吸附真空泵出口压力的方法，在真空泵出口到增压设备进口之间串联或并联了一可变动储气容积气柜，气体先进气柜，经气柜稳定压力后，再用罗茨鼓风机等增压设备抽送至用气工段或单位。本发明使真空泵出口压力稳定，工作噪音减少，操作稳定，保证了产品质量。

主权项

1、一种用气柜稳定变压吸附真空泵出口压力的方法，其特征在于真空泵出口的气体先进可变容气柜，经气柜稳定压力后，再用增压设备抽送至用气工段或单位，在流程中设有气体回路控制气柜高度。