发明名称 研磨方法,装置及其研磨轮
摘要 本发明涉及一种研磨方法,一面向用旋转驱动手段(1)旋转的研磨轮(12)的研磨面(121)和加工部件(W)的被研磨面之间供给研磨剂(B),一面用研磨轮(12)研磨加工部件(W),使研磨轮(12)的研磨面(121)一边相对加工部件(W)的被研磨面边作进退运动,边研磨加工部件(W)的被研磨面。
申请公布号 CN1089050C 申请公布日期 2002.08.14
申请号 CN93121397.5 申请日期 1993.12.29
申请人 BBF山手株式会社 发明人 川崎修司
分类号 B24B29/00;B24D13/00 主分类号 B24B29/00
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王礼华
主权项 1.一种研磨装置,设有带被研磨面的加工部件(W)和以适宜手段旋转的研磨轮(12)(22),以上述被研磨面的轴心为中心且可旋转地设置着上述加工部件(W),同时由上述研磨轮(12)(22)研磨上述加工部件(W)的被研磨面;其特征在于:设置一对研磨轮(12)(22),使一方的研磨轮(12)以与上述加工部件(W)的旋转方向相同的状态接触上述被研磨面旋转,同时使另一方的研磨轮(22)以与上述加工部件(W)的旋转方向相反的状态接触上述被研磨面旋转。
地址 日本静冈县