发明名称 | 一种传感器及检测物理状态的方法 | ||
摘要 | 本发明提供了一种传感器以及用以校正传感器的检测信号的方法,一个变送器安置于一个具有显著弯曲应力的位置,用以产生一个检测信号,另一个变送器安置于一个弯曲应力基本上为零的位置,用以产生另一个检测信号,将第二个变送器的检测信号加到第一个变送器的检测信号上,以校正非线性误差,产生一个代表物理状态的传感器的线性输出检测信号(V<SUB>OUT</SUB>)。 | ||
申请公布号 | CN1089161C | 申请公布日期 | 2002.08.14 |
申请号 | CN97117023.1 | 申请日期 | 1997.09.26 |
申请人 | 摩托罗拉公司 | 发明人 | 艾拉·E·巴斯克特;安德鲁·C·麦克耐尔 |
分类号 | G01D3/028;G01L1/22 | 主分类号 | G01D3/028 |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 郑立;余朦 |
主权项 | 1.一种传感器,包括由一膜片(101)和一外延层(108)构成的一检测结构,具有一个第一位置(202),该第一位置(202)响应于物理状态的弯曲为零;还具有一个第二位置(203),所述第二位置(203)响应于所述物理状态发生弯曲;一第一变送器(102),其设置在所述第一位置(202)处,用于将所述检测结构中的薄膜应力转换为一第一检测信号;一第二变送器(103),其设置在所述第二位置(203)处,用于将所述物理状态转换为一第二检测信号。 | ||
地址 | 美国伊利诺斯州 |