发明名称 一种传感器及检测物理状态的方法
摘要 本发明提供了一种传感器以及用以校正传感器的检测信号的方法,一个变送器安置于一个具有显著弯曲应力的位置,用以产生一个检测信号,另一个变送器安置于一个弯曲应力基本上为零的位置,用以产生另一个检测信号,将第二个变送器的检测信号加到第一个变送器的检测信号上,以校正非线性误差,产生一个代表物理状态的传感器的线性输出检测信号(V<SUB>OUT</SUB>)。
申请公布号 CN1089161C 申请公布日期 2002.08.14
申请号 CN97117023.1 申请日期 1997.09.26
申请人 摩托罗拉公司 发明人 艾拉·E·巴斯克特;安德鲁·C·麦克耐尔
分类号 G01D3/028;G01L1/22 主分类号 G01D3/028
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 郑立;余朦
主权项 1.一种传感器,包括由一膜片(101)和一外延层(108)构成的一检测结构,具有一个第一位置(202),该第一位置(202)响应于物理状态的弯曲为零;还具有一个第二位置(203),所述第二位置(203)响应于所述物理状态发生弯曲;一第一变送器(102),其设置在所述第一位置(202)处,用于将所述检测结构中的薄膜应力转换为一第一检测信号;一第二变送器(103),其设置在所述第二位置(203)处,用于将所述物理状态转换为一第二检测信号。
地址 美国伊利诺斯州