METHOD FOR OBTAINING AN EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION SOURCE AND ITS USE IN LITHOGRAPHY,申请号EP20000979727-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR OBTAINING AN EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION SOURCE AND ITS USE IN LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号	EP1230828(A1)	申请公布日期	2002.08.14
申请号	EP20000979727	申请日期	2000.11.14
申请人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE	发明人	BABONNEAU, DANIELE;MARMORET, REMY;BONNET, LAURENCE
分类号	G21K5/08;G03F7/20;G21K5/02;G21K7/00;H01L21/027;H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00	主分类号	G21K5/08
代理机构		代理人
主权项
地址