Electrostatic chuck susceptor and method for fasbrication,申请号GB20020015883-传众专利搜索

发明名称	Electrostatic chuck susceptor and method for fasbrication
摘要
申请公布号	GB0215883(D0)	申请公布日期	2002.08.14
申请号	GB20020015883	申请日期	2000.12.05
申请人	SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC.	发明人
分类号	H01L21/683	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
主权项
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