| 发明名称 |
POLISHING SYSTEM AND METHOD OF ITS USE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL147236(D0) |
申请公布日期 |
2002.08.14 |
| 申请号 |
IL20000147236 |
申请日期 |
2000.08.10 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
B24B37/00;B24B57/02;B24D11/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;(IPC1-7):C09G |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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