薄膜晶体管液晶显示器的制作方法

摘要

一种薄膜晶体管液晶显示器的制作方法。薄膜晶体管制作在一基板之上,该基板上包含一扫描线及一信号线,该信号线与该扫描线垂直,且该扫描线与该信号线是位于不同平面。该制作方法包含:在该基板上方形成一保护层,以覆盖于薄膜晶体管以及信号线;限定该保护层的图案,至少于信号线上方的保护层中形成一信号线接触洞;于信号线与保护层的上方形成一透明导电层,且透明导电层会填入信号线接触洞;以及限定透明导电层的图案,使透明导电层存留在扫描线交错的信号线的正上方。

主权项

1.一种薄膜晶体管液晶显示器(thin-film-transistor liquid-crystal-dispay，TFT-LCD)的内连线(interconnect)的制作方法，该薄膜晶体管(TFT)是制作于一基板(substrate)之上，该基板上另包含有一扫描线(scan line)及一信号线(signal line)，该信号线是与该扫描线垂直，且该扫描线与该信号线是位于不同平面，该制作方法包括下列步骤：在该基板上方形成一保护层(passivation layer)，以覆盖于该薄膜晶体管以及该信号线；限定该保护层的图案，至少于该信号线上方的保护层中形成一信号线接触洞(contact hole)；在该信号线与该保护层的上方形成一透明导电层，且该透明导电层会填入该信号线接触洞；以及限定该透明导电层的图案，使该透明导电层存留在该扫描线交错的信号线的正上方。