Verfahren und Vorrichtung zum Zusammenfügen von Substraten

摘要

Um auf einfache und kostengünstige Weise ein gleichmäßiges Zusammenfügen von wenigstens zwei Substraten, insbesondere zum Bilden eines optischen Datenträgers, zu ermöglichen, wird ein Verfahren und eine Vorrichtung angegeben, bei dem bzw. bei der die Substrate voneinander beabstandet zwischen zwei gegenüberliegenden und relativ zueinander bewegbaren Platten angeordnet werden und wenigstens eine mit einer der Platten verbundene flexible Membran durch Erzeugen einer Druckdifferenz auf gegenüberliegenden Seiten der Membran bewegt wird.