首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS FOR PRODUCING UNIFORM PROCESS RATES
摘要
申请公布号 EP1230668(A2) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 EP20000993006 申请日期 2000.11.14
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 BAILEY, ANDREW, D., III;SCHOEPP, ALAN, M.;KUTHI, ANDRAS
分类号 H05H1/46;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com