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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEMS AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 EP1230666(A1) 申请公布日期 2002.08.14
申请号 EP20000982118 申请日期 2000.11.14
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 BAILEY, ANDREW, D., III;SCHOEPP, ALAN, M.;HEMKER, DAVID, J.;WILCOXSON, MARK, H.;KUTHI, ANDRAS
分类号 H05H1/46;C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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