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发明名称
Mask and manufacturing method using mask
摘要
申请公布号
GB0215243(D0)
申请公布日期
2002.08.14
申请号
GB20020015243
申请日期
2002.07.02
申请人
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人
分类号
G03F1/00;H01L21/027
主分类号
G03F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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