发明名称 | 适用于分段像观察装置的图案形成部件和分段像观察装置 | ||
摘要 | 一种适用于分段像观察装置的图案形成部件,选择地向试样照射来自光源的光,扫描所述试样,取得来自所述试样的光,将其作为分段像,所述图案形成部件包括照射部和遮光部,在将所述照射部和所述遮光部的各自图案形成为直线状的同时,交互配置这些直线状图案。 | ||
申请公布号 | CN1364241A | 申请公布日期 | 2002.08.14 |
申请号 | CN01800429.6 | 申请日期 | 2001.03.06 |
申请人 | 奥林巴斯光学工业株式会社 | 发明人 | 远藤富男;山岸毅;贞森克也 |
分类号 | G02B21/00;G02B21/06;G01B11/24;G02B21/16;G02B26/10 | 主分类号 | G02B21/00 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
主权项 | 1.一种适用于分段像观察装置的图案形成部件,选择地向试样照射来自光源的光,对所述试样进行扫描,取得来自所述试样的光,将其作为分段像,其特征在于,所述图案形成部件包括照射部和遮光部,将所述照射部和所述遮光部的各自的图案形成为直线状,并交互配置这些直线状图案。 | ||
地址 | 日本东京都 |