| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING SPUTTERING TARGET MATERIALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1230418(A1) |
申请公布日期 |
2002.08.14 |
| 申请号 |
EP20000970908 |
申请日期 |
2000.10.12 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
YAO, LIJUN;UEDA, TADAO |
| 分类号 |
C22F1/04;C22F1/08;C22F1/18;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/58 |
主分类号 |
C22F1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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