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发明名称
摘要
申请公布号	JP2002525486(A)	申请公布日期	2002.08.13
申请号	JP20000571132	申请日期	1999.03.24
申请人		发明人
分类号	F02M47/00;F02M47/04;F02M51/00;F02M51/06;F02M61/08;F02M63/00;H01L41/09;H01L41/12;(IPC1-7):F02M51/06	主分类号	F02M47/00
代理机构		代理人
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