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发明名称
摘要
申请公布号	JP3314030(B2)	申请公布日期	2002.08.12
申请号	JP19980112575	申请日期	1998.04.22
申请人		发明人
分类号	C23C8/04;C23C8/20;C23C8/22;(IPC1-7):C23C8/04	主分类号	C23C8/04
代理机构		代理人
主权项
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