| 发明名称 |
High resolution etalon-grating monochromator spectrometer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002245334(A1) |
申请公布日期 |
2002.08.12 |
| 申请号 |
AU20020245334 |
申请日期 |
2002.01.28 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
ALEXANDER I. ERSHOV;IGOR V. FOMENKOV;SCOTT T. SMITH;RICHARD L. SANDSTROM;DANIEL J. W. BROWN |
| 分类号 |
G01J3/26;G01J1/42;G01J3/12;G01J3/22;G01J9/02;G21K1/06;H01S3/134;H01S3/137;(IPC1-7):G01B9/02;G01J3/18 |
主分类号 |
G01J3/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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