抓持用机器人

摘要

提供一种可消除马达单元之动力传达系统之定位精度之低劣之情形及扭曲变形等所造成之振动的抓持用机器人。一种抓持用机器人，其系于，在上下方向上位置错开而装设成旋转自如且为同心状之多数根环状支臂10a、10b之个别之外侧上，固设臂部7a、7b，而与此各臂部上介以连杆连结着搬送台8a、8b，而藉由使各环状支臂相互朝相反方向旋转，使搬送台往复移动于轴直角方向，而藉由使其朝同一方向旋转，而将搬送台旋转者，其特征在于：在上述各环状支臂之内侧，且较上述搬送台为低之位置上，将对应于各环状支臂之多数个马达单元24a、24b配置成同心状，且为在上下方向上位置错开之状态，而于前述各马达单元之输出部件28上，固设断面形状为碗状之连结部件32a、32b，而将各连结部件连结于上述各环状支臂所构成者。

主权项

1.一种抓持用机器人,其特征在于:以同心状且于上下方向错开位置之方式配置复数个直接传动型马达单元;将至少一个马达转子配置成与其对应之臂部于轴方向略同一位置;在各马达单元之输出部件上固定安装臂部,透过连杆在各臂部上连结着搬送台,以使搬送台往复移动于轴直角方向或旋转动作。2.如申请专利范围第1项之抓持用机器人,其中藉将各马达单元之各输出部件向相反方向旋转,以使搬送台往复移动于轴直角方向,藉由向同一方向旋转以使搬送台旋转。3.如申请专利范围第1项之抓持用机器人,其中各马达单元之各马达定子,系透过间隔部件配置于与各马达转子对向之位置。4.一种抓持用机器人,其特征在于:以同心状且于上下方向错开位置之方式配置复数个直接传动型马达单元;将至少一个马达转子配置成与其对应之臂部于轴方向略同一位置;在各马达单元之输出部件上设置至少二处能固定安装臂部之位置;在各马达单元之各输出部件上固定安装着臂部,透过连杆在各臂部上连结着搬送台,以使搬送台往复移动于轴直角方向或旋转。图式简单说明:第1图为多室型制造装置之一例之半导体制造装置之概略上视图。第2图为传输室与抓持用机器人之关系之揭示用之分解立体图。第3图为抓持用机器人之一例之立体图。第4图(a)(b)为搬送台姿势规制机构之说明图。第5图为习知之抓持用机器人之臂部旋转机构之断面图。第6图(a)(b)为抓持用机器人之作用说明图。第7图为本发明之臂部旋转机构之一例之断面图。第8图为本发明之臂部旋转机构之其他例之断面图。第9图为本发明之臂部旋转机构之其他例之断面图。第10图为本发明之臂部旋转机构之其他例之断面图。第11图为搬送台装置之其他例之正视图。第12图为搬送台装置之其他例之上视图。第13图为搬送台装置之其他例之立体图。