| 主权项 |
1.一种切断复数平行延伸之熔线电极中之一熔线电极的方法,包括下列步骤:设定邻近熔线电极上的切割位置至上述熔线电极延伸的方向中不同之位置;以及供应一雷射光束到每个上述切割位置,以切断每个上述邻近的熔线电极。2.一种切断复数平行延伸之熔线电极中之一熔线电极的方法,且上述熔线电极含有置于不同层之邻近的熔线电极,包括下列步骤:聚焦一雷射光束至欲被切断之上述层中的一熔线电极上;以汲用一既定位置上之上述雷射光束,只切断上述臂射光束所聚焦之位置上的上述熔线电极。3.一种切断复数相互平行延伸且配置于一积体电路装置中之熔线电极中之一熔线电极的装置,包括:一固持级,用以固持上述积体电路装置于一既定位置中;一雷射单元,用以供应一雷射光束至上述固持级所固持之上述积体电路装置,以切断上述熔线电极;一滑动单元,用以于一既定方向中移动上述固持级;以及一动作控制器,用以设定邻近熔线电极上的切割位置至上述熔线电极延伸的方向中不相同的位置上,且控制上述雷射单元及上述滑动单元,以供应一雷射光束至每个上述切割位置。4.一种切断复数相互平行延伸且配置于一积体电路装置中之熔线电极中之一熔线电极的装置,上述熔线电极包含配置不同层中之邻近的熔线电极,上述装置包括:一固持级,用以固持上述积体电路装置于一既定位置中;一雷射单元,用以供应一雷射光束至上述固持级所固持之上述积体电路装置,以切断上述熔线电极;一滑动单元,用以于一既定方向中移动上述固持级;以及一动作控制器,用以控制上述雷射单元及上述滑动单元,以供应一雷射光束至上述熔线电极,且控制上述雷射单元只聚焦雷射光束至欲被切断的上述熔线电极上。5.一种积体电路装置,包括:复数熔线电极,系互相地平行延伸,以及复数个窗口,各自地与上述熔线电极相关,上述窗口具有分别与上述熔线电极之一邻近电极相关,且配置于上述熔线电极延伸方向中不同之位置中,上述窗口系由具有允许一雷射光束通过,以切断上述熔线电极之厚度的一绝缘薄膜所定义。6.如申请专利第5项所述之积体电路装置,其中上述绝缘薄膜包括上述窗口外的一区域,上述区域具有预防上述雷射光束损害上述熔线电极的一厚度。7.一种积体电路装置,包括:复数熔线电极,互相平行延伸且具有配置于不同层之邻近的熔线电极;一覆盖层,配置于上熔线电极上,且包括一绝缘薄膜具有允许一雷射光束通过,以切断上述熔线电极的厚度。8.一种制造积体电路装置的方法,上述积体电路装置具有平行延伸的复数熔线电极、分别与上述熔线电极相关的复数窗口,上述窗口具有分别与上述熔线电极之一邻近电极相关,且配置于熔线电极延伸方向中不同的位置中,上述窗口系由允许一雷射光束通过,以切断上述熔线电极之一厚度的一绝缘薄膜所定义,以及具有一线路图案之一逻辑电路,上述方法包括下列步骤:连同上述逻辑电路之上述线路图案一起制造上述熔线电极;成长一绝缘层于上述熔线电极及上述线路图案上;以及定义一接触窗及上述窗口于上述绝缘层中,上述接触窗通到上述线路图案。9.如申请专利范围第8项所述之制造积体电路装置的方法,其中上述成长一绝缘层之步骤,包括于上述窗口外一区域中,成长上述绝缘薄膜至一个预防上述雷射光束损害上述熔线电极的厚度。10.一种制造积体电路装置的方法,上述积体电路装置具有互相平行延伸的复数熔线电极、分别与上述熔线电极相关的复数窗口,上述窗口具有分别与上述熔线电极之一邻近电极相关,且配置于熔线电极延伸方向中不同的位置中,上述窗口系由允许一雷射光束通过,以切断上述熔线电极之一厚度的一绝缘薄膜所定义;以及一逻辑电路,具有分别配置于各层中之线路图案,上述方法包括下列步骤:一起制造上述线路图案及上述熔线电极于上述每一层中;定义通到上述绝缘层中之一层的一接触窗,且移除与上述绝缘层中之一层中上述熔线电极上之上述绝缘薄膜,同时剩余其既定的厚度;以及配置具有一既定厚度之一覆盖层于上述每一层中之上述熔线电极上。图式简单说明:第1A图为一传统熔丝ROM的平面图。第1B图为第1A图中沿着IB-IB线的剖面图。第1C图为第1A图中沿着IC-IC线的剖面图。第2图为一平面图,用以展现由一传统熔线电极切割装置切断上述熔线电极的方法。第3A-3D及第4A-4D图为表示一传统积体电路装置的制造程序之剖面图。第5图为根据本发明第一实施例中一积体电路置装置之结构的平面图,图中表示上述熔线电极被切断的方法。第6图为根据本发明之一熔线电相切割装置的方块图。第7图为第6图中上述熔线电极切割装置中动作控制器的方块图。第8图为本发明第一实施例中,切断一熔线电极之方法的动作顺序流程图。第9A图为根据本发明第二实施例中一积体电路装置之结构的平面图,图中表示切断上述熔线电极的方法。第9B图为第9A图中沿着IXB-IXB线的剖面图。第9C图为第9A图中沿着IXC-IXC线的剖面图。第10A-10D图为表示本发明第二实施例中切断一熔线电极之方法的连续步骤之剖面图。第11图为本发明第三实施例中一积体电路装置之结构的剖面侧视图。第12A到第12D图为表示本发明第三实施例中切断一熔线电极之方法的连续步骤之剖面图。第13A到第13D图为表示本发明第三实施例中切断一熔线电极之方法的连续步骤之剖面图。 |
