| 摘要 |
<p>본 발명은 높은 인덕턴스, Q 값(Quality factor), 공진 주파수 그리고 낮은 DC 저항을 갖고 집적화가 가능한 마이크로 인덕터를 제공하기 위한 것으로서, 감광성 유리(photosensitive glass) 기판에 선택적으로 상하부가 관통된 다수개의 비아 홀을 형성하기 위해 적외선을 선택적으로 입사하고 열처리하는 공정, 상기 감광성 유리(photosensitive glass) 기판의 한쪽 면인 제 1 면 위에 제 1 금속으로 상기 다수개의 비아 홀이 연결되도록 전도라인을 형성하고 상기 전도라인을 포함한 제 1 면에 보호막을 형성하는 공정, 식각용액을 이용하여 다수개의 비아 홀을 형성하고 상기 다수개의 비아 홀에 전도성을 갖는 제 2 금속을 증착하는 공정, 및 상기 희생층 및 보호막을 제거하는 공정을 포함하여 이루어지는데 있다.</p> |
