发明名称 METHOD OF PRODUCING SHAPED BODIES OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要 <p>L'invention concerne un procédé permettant de produire des articles semi-conducteurs dotés de profils prédéfinis tels que des tubes centraux utilisés pour produire un dépôt chimique en phase vapeur (CCD) de polysilicium en vrac. Ce procédé est caractérisé par un dépôt de matériau semi-conducteur (18) par pulvérisation thermique à température contrôlée dans un mandrin rotatif (14) configuré de manière complémentaire au profil de l'article désiré, et par séparation ultérieure du corps semi-conducteur formé à partir dudit mandrin par contraction thermique, fusion ou réduction chimique de la taille de ce mandrin.</p>
申请公布号 WO2002060620(A1) 申请公布日期 2002.08.08
申请号 US2001025974 申请日期 2001.08.20
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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