发明名称 Zusammensetzung für Antireflexunterschichten und Verfahren zur Herstellung eines Resistmusters damit
摘要
申请公布号 DE69707635(T2) 申请公布日期 2002.08.08
申请号 DE19976007635T 申请日期 1997.12.23
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 MIZUTANI, KAZUYOSHI;MOMOTA, MAKOTO
分类号 G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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