| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung eines Gegenstandes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59901911(D1) |
申请公布日期 |
2002.08.08 |
| 申请号 |
DE1999501911 |
申请日期 |
1999.10.22 |
| 申请人 |
GEBR. SCHMID GMBH & CO. |
发明人 |
SCHMID, DIPL.-WIRTSCH.-ING. |
| 分类号 |
G05D3/12;H01L21/00;(IPC1-7):G05D3/12 |
主分类号 |
G05D3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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